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第522章 新的跨越

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    第522章新的跨越(第1/2页)
    车间内,沈永健按下主控台上的启动按钮。
    极低且平稳的嗡鸣声在耳边一闪而过,庞大的设备各处指示灯亮起。
    从土法光刻到接触式光刻,直至今日的步进扫描光刻,这光刻设备本身虽然越来越精致,但其体积也不断增大。
    就眼前这台的体积已不输于前些年的大型计算机。
    车间内空调机组正不断变频中,精确地将温度与湿度依旧保持在完美的恒定状态。
    这套薛福根还未展开研究的,只被他指明为之后研究方向的技术,如今在这台精密空调之中已应用运行流畅。
    “开始自检。”
    沈永健紧盯着眼前的控制屏幕,下达了指令。
    机柜嵌入的屏幕上,各项传感器数据如瀑布般刷过。
    激光干涉仪的读数瞬间锁定,气浮导轨的压力值稳定在标准区间,直线电机的响应延迟也达标。
    “自检通过,掩模台与硅片台就绪。”
    显示屏上显示出结果,卓邵文看着面前的新机器,眼中满是期待。
    “载入测试晶圆,运行L-4芯片的模拟曝光程序。”
    随着指令录入下达,涂有光刻胶的硅片送入至工作台区域。
    和上一代步进重复光刻机“静止曝光”时的顿挫感不同,这次新机器的整个曝光过程显得异常丝滑。
    众人能清晰看到在曝光的瞬间,掩模台和硅片台并没有保持静止,而是在激光干涉仪的精准定位下,进行着同步反向移动。
    而实际工作台内对晶圆的不同曝光过程,光凭肉眼可看不出区别。
    唯有等几分钟后,第一片测试晶圆曝光完成,被转送入显影与检测区,众人跟着期待起来。
    车间内依旧安静,观摩的技术骨干们再次屏住了呼吸,紧紧盯着检测仪传回的实时数据。
    “多层套刻精度:0.15微米”
    “边缘线宽均匀度误差率:1.95%”
    …
    显示器测试结果显现瞬间,卓邵文,张伟森等人便已经激动起来。
    “啪啪~!”的鼓掌声从几人之中响起。
    余下的技术骨干们也立刻激动地鼓起掌来。
    要知道上一代的步进重复光刻套刻机精度勉强只达0.5微米左右,如今直接将精度提升了两倍有余。
    哪怕还未大规模地生产测试,但良品率必然远超之前!
    “沈工,新光刻机的单片晶圆曝光时间比原先也缩短了40%。”
    “要是良品率能保证,整体生产效率至少能翻一倍。”
    沈永健看着屏幕上一系列结果,紧绷的神经终于放松下来,嘴角露出一抹笑容。
    东西是他设计的没错,但从设计到研制落成,这其中可不简单。
    尤其是光刻机这种设备,他最担心的就是有零配件不达标,尤其是部分加急进口的零配件,倘若精度不够耽误的时间可不止一点半点。
    如今新机器精度与效率的双重飞跃下,国内在微电子制造工艺上,再次有了巨大的跨越。
    毫不夸张的说,目前国内工艺已将世界先进水平拉开了巨大断层。
    光刻设备的更新,虽然众人心情都十分激动,但于厂里而言却并没有多少消息透出。
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    于外界而言更是未有丁点变化。
    唯独研发处的薛福根在厂里愈加忙碌起来。
    带着研发处的同志开始钻研起适合空调的转子式压缩机。
    微电子所内,沈永健也将注意力转到了卓邵文的L-5芯片方案上。
    这次跨越万集成度的芯片,方案早已经过多次仿真与修改,只可惜依旧还有要调整的地方。
    而芯片方案的每一次微小调整,又牵扯许多局部模块的设计,工作量反而比最初起步时还大。
    而越是到了这关键时刻,便越是要沉得住气,沈永健也加入了一线团队工作,让众人心思愈发坚定。
    ……
    瑞联国。
    这个被誉为钟表王国的国家,近日正在日瓦市的万国宫内进行着一场重要会议。
    宽敞的会议厅内,一名身着西服的中年男子挺直腰背,略显局促地等在此间。
    视线不断瞟过会议厅内,面对周围陆续走近的其他外国代表都几次起身弯腰呈45度鞠躬。
    “弗雷德先生,欢迎日后来我国旅游做客,思密达。”
    看着面前瑞联国的外交官走近,与自己握手攀谈,金士廉脸上的笑容也比刚刚自然和热情得多。
    他是南高丽国这次临时指定的外交官,原先陆军出身,少将军衔,后才转入的政府工作。
    最近十来年,南高丽国算是“隐士之国”。
    自战争后,经历内部的动荡,直至这一两年才开始改变态度,开始向外开放。
    像这种国际性的大会,金士廉是头一次参加,身上背负的国内任务很重。
    所以第一个前来到会,尽可能地与参会的其他代表们打招呼攀谈几句,留下一个好印象。
    只可惜,真正肯搭理他的不多,让他心中多了几分挫败。
    这会儿弗雷德肯主动上前,才让他心中缓和不少。
    心中也暗暗给自己打气,在全球格局里,他们亚太地区的黄皮肤国家就是不受重视。
    要放平心态…不能辜负大总统的信任。
    一番心里安慰后,金士廉迅速将一系列情绪扫除。
    直至远处大门口传来光影闪烁,耳中也跟着传来响动,这才下意识地再次起身。
    只是才一起身就有些后悔,他看清门外的参会外交代表脚步不快,这会儿到这会议桌还有一小段距离,起身的有些早了。
    更重要的是,这走进前来的似乎也只是个亚洲面孔…
    这般想法才一冒出,却发现身边原本还互相攀谈,无比随意的外交官们都纷纷从位置上起身。
    个别外交人员动作甚至要比他还早几分,这让金士廉心中好奇心迅速升起。
    看着这位气场不小的男子走近,心中不断盘算猜测起来。
    难不成是东瀛国的外交官?
    不可能!
    对方这身高可不太像啊!
    而且国内目前与东瀛国关系开始缓和,东瀛国的几位外交官他也多有打过交道。
    虽并非专职外交官,但大致情报还是知晓的。
    更别提东瀛国在眼下世界也算不上什么大国,像这般的地位和待遇根本不可能落在它头上才是。
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